三昧耶者，要誓之义，即“戒”义、不可违越之义。指入真言门五种要誓之次第。即：(一)初见三昧耶，遥于坛场之外礼拜曼荼罗，以花香等作供养，未授真言及印。(二)入睹三昧耶，引入曼荼罗坛，得见曼荼罗之坐位，若请印真言，得随所应者而授之。(三)具坛三昧耶，阿阇梨特为此人造曼荼罗，告示诸尊及印等，并授予真言、手印及一一之行法。(四)传教三昧耶，行者能依随修行真言门之所有法则，并具知缘坛所须之方便众艺，得在师位，师即为其作传教曼荼罗。(五)秘密三昧耶，于秘密坛中如法作灌顶，经入此坛，能生秘密智，悉见如教所说之印坛配位。此五种三昧耶配于后世之灌顶，第一三昧耶为曼荼罗供，第二为结缘灌顶，第三为受明（学法）灌顶，第四为传法灌顶，第五为以心灌顶。［大日经卷五秘密漫荼罗品、大日经疏卷十五、菩提心义卷三、大日经疏钞卷三、乳味钞卷十五］ p1173