【唯识三性观】即就遍计所执性、依他起性、圆成实性等三性行唯识的观法。此又作三性观行、唯识观。为显唯识之实性，《成唯识论》卷九，就三性立真妄、真俗之二种相对；即遍计为虚妄之唯识性，依他为世俗之唯识性，圆成为真实之唯识性。亦即如《唯识二十论述记卷上》所释，遍计所执性为虚妄之唯识；依他起性为非有似有，乃因缘所生，故为因缘之唯识，为识之相；圆成实性为真实之唯识，即识之性。所观之境的三性既通三种唯识性，故称唯识三性观。修此唯识三性观，自浅至深有五重，称为五重唯识观，即：一、遣虚存实识，即观虚妄遣去所执，存留依他、圆成二性之实，此乃虚实相对之观法。二、舍滥留纯识，乃心境相对之观法。三、摄末归本识，乃体用相对之观法。四、隐劣显胜识，乃心心所相对之观法。五、遣相证性识，乃事理相对，唯识观之至极。参阅‘三性’、‘五重唯识’条。